·国内外动态·新材料ITO薄膜的应用和发展段学臣杨向萍(中南工业大学非平衡材料研究所,湖南长沙410083)摘要:对铟锡氧化物(ITO)薄膜的特性和应用,制备方法以及市场情况进行了综述。该新材料有优越的光电性能,在高科技领域中有着重要用途,如液晶显示、太阳能电池、节能窗玻璃等。国内外对ITO薄膜均存在良好的市场。世界上差不多一半的铟用于制备ITO薄膜。我国有丰富的铟资源,因此存在着ITO薄膜的巨大的潜在市场。关键词:氧化铟;氧化锡;薄膜;液晶显示;太阳能电池中图分类号:TB383文献标识码:A文章编号:100420536(1999)0320058203随着液晶显示的发展,用于透明电极的铟锡氧化物(ITO)薄膜的需要量急剧增加,目前,世界上的发达国家如日本、美国、法国等国将一半左右的铟用于制备ITO薄膜材料。ITO薄膜具有导电性好,对可见光透明,对红外光反射性强等特性,在液晶电视、建筑用节能视窗、太阳能电池、轿车风挡等方面获得日益广泛的应用,成为高技术领域新材料中的一支奇葩。ITO薄膜制备技术含量高,仅有少数几个发达国家能够生产,保密十分严格。我国铟锡资源丰富,所用ITO材料需要进口,迫切要求攻克技术难关,改变原料廉价出口的局面,以满足高技术领域中对ITO薄膜材料的需求,创造巨大的经济效益与社会效益。1性能与用途ITO薄膜具有优良的光电性能,对可见光的透过率达95%以上,对红外光的反射率≥70%,对紫外线的吸收率≥85%,对微波收稿日期:1998201205规范市场、强化自律的目的。稀土骨干厂家也应在出口市场中起表率作用,依靠产品质量好、品种规格齐全和信誉良好等实力占领市场,以促进我国稀土事业的更快发展。我们相信,我国稀土产品在国际市场上将继续起着重要作用,且随着出口市场的进一步规范健全,其主导地位将更加突出。PresentStatusandSuggestiononChina’sREProductsExportLINHe2cheng(BeijinResearchInstituteofNonferrousMetallurgy,Beijing100038,China)Abstract:AnalysisismadeofChina’spresentstatusofREproductsexportwithsuggestionsforfurtherimprovement.Keywords:RE;export;countermeasure85稀有金属与硬质合金1999年9月总第138期©1995-2004TsinghuaTongfangOpticalDiscCo.,Ltd.Allrightsreserved.的衰减率≥85%,导电性和加工性能极好,硬度高且耐磨耐蚀,因而在工业上应用广泛,在高技术领域中起着重要作用。主要用途有:(1)用于平面显示:ITO薄膜大量用于平面显示器,例如液晶显示(LCD)、电致发光显示(ELD)、电致彩电显示(ECD)等。目前,在各类显示器中,LCD的产值仅次于显像管(CRT)。随着液晶显示器件的大面积化,高等级化和彩色化,LCD将超过CRT成为显示器件中的主流产品。因而ITO薄膜主要用于高清晰度的大型彩电,计算器和计算机显示器,液晶和电子发光屏幕等。(2)用于电致变色(EC)灵巧窗:由于ITO薄膜对光波具有选择性,因而用于寒冷地区和高层建筑的视窗,使建筑物内暖气、冷气和照明等能耗减少50%以上,将使热量保存在一封闭的空间里而起到热屏蔽作用,并使外界热量难以辐射入室内。日本在“阳光计划”中提出从1992年起5年内实施EC玻璃的开发,美国、西欧亦投入大量人力、财力开发EC玻璃。(3)用于太阳能电池:ITO薄膜用于异质结SIS太阳能电池顶部氧化物层,可以得到高的能量转换效率,例如ITO/SiO2/P2Si太阳能电池可以产生13%～16%的转换效率。ITO玻璃还可以用于Si太阳能电池的反射涂层以及用于异质结型α2Si基太阳能电池的透明电极。(4)用于交通工具风挡:ITO薄膜能除雾防霜,是一种典型的透明表面发热体,可以用作汽车、火车、电车、飞机等交通工具的风挡,用于陈列窗、溜冰眼镜、双引自行战车及医疗喉镜。还可以用作烹调用加热板的发热体,也可以用于炉门、冷冻食品的显示器及低压钠灯等。(5)用于微波屏蔽和防护镜:ITO薄膜有良好的微波屏蔽作用,能防静电,可用于屏蔽电磁波的地方,如计算机房、雷达的屏蔽保护区,甚至可用于防雷达隐形飞机上。茶色ITO薄膜是铟、锡氧化物的新品种,它能防紫外线和红外线,滤去对人体有害的紫外波段,因此镀ITO膜的玻璃镜片可作特殊防护镜。2制备方法简介制备ITO薄膜主要采用先制成铟锡氧化物高纯纳米复合粉末(纯度>99199%,平均粒径10nm左右),再制成ITO靶材(相对密度>95%),...
