拖动LOGO至书签栏，立即收藏博途智库
第22卷第1期1997年2月昆明理工大学学报JOURNALOFKUNMINGUNIVERSTYOFSCIENCEANDTECHNOLOGYVol.22No.1Feb.1997收稿日期:1996-12-02铟锡氧化物(ITO)靶材的应用和制备技术钟毅1王达健2刘荣佩3郭玉忠4(昆明理工大学材料工程系1,3,4,冶金系2,昆明650093)摘要对铟锡氧化物(ITO)靶材的现有生产工艺方案和应用现状及前景作了综合评述.提出了ITO靶材成形的新方案——动态成形技术.关键词ITO;靶材成形;ITO粉末;应用中图分类号TG3铟在自然界...
三甲基铟、三乙基铟制备的研究进展Ξ舒万艮李雄王歆燕(中南工业大学化学系,长沙410083)摘要:根据国外三甲基铟和三乙基铟制备的发展概况,从合成与纯化两方面论述了其研究进展。关键词:三甲基铟三乙基铟合成纯化高纯三甲基铟和三乙基铟是金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的铟源[1]。在半导体工业中,它们单独或与至少一种第五主族元素(主要是磷和砷)的气态氢化物沉积到...
