三甲基铟、三乙基铟制备的研究进展Ξ舒万艮李雄王歆燕(中南工业大学化学系,长沙410083)摘要:根据国外三甲基铟和三乙基铟制备的发展概况,从合成与纯化两方面论述了其研究进展。关键词:三甲基铟三乙基铟合成纯化高纯三甲基铟和三乙基铟是金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的铟源[1]。在半导体工业中,它们单独或与至少一种第五主族元素(主要是磷和砷)的气态氢化物沉积到...
