9900型靶材与靶托的连接技术Ξ韩雪(北京有色金属研究总院,北京100088)摘要:针对9900型靶材与靶托的连接中存在的难题分析其原因,对此采取了一些措施,通过靶材大小,焊料的改进和热处理等,实现了Ni2Cr合金、铬、银靶与铜底托的连接,生产出产品的批量使用证明,焊接质量完全满足使用要求。关键词:靶材靶托连接退火脱焊文献标识码:A文章编号:0258-7076(2000)0420317204Varian9900型磁控溅射台是一种适合连续在761101mm硅片上镀膜的设...
